怪天气

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追求综合性能优越,尤其是优良稳定性的柔性触觉电子皮肤传感器是实际应用中迫切需要的。因为优异的柔韧性和高导电性,基于液态金属的柔性触觉传感器受到越来越多的关注。然而,传统方法(例如光刻法,沉积法)制备的微结构却无法与液态金属电极和谐共处,其制备的微结构易与液态金属电极产生黏附,无法保证传感器的稳定性,阻碍了其实际应用。本文探究了飞秒激光刻蚀微结构策略的优势,并且与光刻制备微结构进行对比:飞秒激光微结构滚动角为3°左右,LM液滴不黏附于微结构;光刻微结构滚动角为90°,LM液滴黏附于微结构,证明了超疏液态金属性的关键性。此外,还将液态金属利用薄膜封装,尝试隔绝液态金属的高黏附,但在性能方面会有较大幅度的下降,灵敏度从1.14kPa-1下降到0.46 kPa-1、最低检测极限由0.9 kPa增加到1.74 kPa、信号恢复时间由50ms增加到1000ms,再次证明了飞秒激光刻蚀微结构策略具备不可替代性。

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追求综合性能优越,尤其是优良稳定性的柔性触觉电子皮肤传感器是实际应用中迫切需要的。因为优异的柔韧性和高导电性,基于液态金属的柔性触觉传感器受到越来越多的关注。然而,传统方法(例如光刻法,沉积法)制备的微结构却无法与液态金属电极和谐共处,其制备的微结构易与液态金属电极产生黏附,无法保证传感器的稳定性,阻碍了其实际应用。本文探究了飞秒激光刻蚀微结构策略的优势,并且与光刻制备微结构进行对比:飞秒激光微结构滚动角为3°左右,LM液滴不黏附于微结构;光刻微结构滚动角为90°,LM液滴黏附于微结构,证明了超疏液态金属性的关键性。此外,还将液态金属利用薄膜封装,尝试隔绝液态金属的高黏附,但在性能方面会有较大幅度的下降,灵敏度从1.14kPa-1下降到0.46 kPa-1、最低检测极限由0.9 kPa增加到1.74 kPa、信号恢复时间由50ms增加到1000ms,再次证明了飞秒激光刻蚀微结构策略具备不可替代性。

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